以下では、超純水製造装置のことが詳しくわかる内容をまとめた記事を紹介しています。ラボ担当者や研究者の方で、装置のことについておさらいしたいという方は必見です。
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超純水の主な用途は、半導体や液晶の洗浄や蒸気発生器用水、注射用水、分析用ブランク水です。超純水には塩素やミネラルが含まれておらず、不純物を限りなく除去したものであることから、繊細な機器の洗浄や精密な分析に使用されています。
超純水と純水には実は、定義はありません。超純水は精密機械の表面洗浄に使用されたり、研究用水として活用されたりします。
一方で純水は一般的な化学実験や電子機器の冷却に用いられ、それぞれ使用用途が異なるのが特徴です。
精製水の中には超純水・RO水・蒸留水などの種類があり、精製方法によって種類が変わります。同時に水質も異なり、それぞれ使用用途があります。
以下の記事では、それぞれの水の種類の概要や使用用途についてまとめていますので、ぜひ参考にしてみてください。
RO水などの
製造方法の異なる
精製水の種類・使用用途
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超純水製造装置に必要不可欠であるフィルターは消耗品であり、洗浄することは難しいです。そのため精製水の質が落ちてくる前に、定期的に交換する必要があります。
交換を怠ってしまうと機器停止を招いてしまう可能性があるため、交換時期はきちんと守りましょう。
以下の記事では、超純水製造装置の交換時期や耐用年数などについてまとめています。他にも、装置の入れ替え時期の目安についても詳しく紹介していますので、ぜひ参考にしてみてください。
比抵抗値とは、水中に含まれているイオン量のことを指します。超純水の比抵抗率は17.5~18.2MΩ・cmであり、この数値を超えることは理論上難しいとされています。
この数値を超えられない理由や電気伝導率についても詳しく解説していますので、気になる方はぜひ参考にしてみてください。
半導体製造に欠かせないとされている超純水の役割や、その理由について詳しくまとめている記事です。半導体は精密機械であり、水道水をはじめとした不純物が混在している水で洗浄するとショートを起こしてしまいます。
そのため、超純水が必要不可欠ということになります。
超純水製造装置を使用する上では、定期的なメンテナンスを行うことが大切です。装置にはさまざまな消耗品が使用されているので、それぞれの役割や交換頻度について把握しておくことが大切です。
超純水は、前処理で塩素や粒子などを除去した後、逆浸透膜(RO)やイオン交換樹脂でイオン・微量有機物を徹底除去する二段構えで得られます。再生型イオン交換、蒸留、RO+EDIなど方式ごとに省メンテ性や薬品不要などの特長が異なるため、用途に応じた装置選定が鍵となります。
超純水製造装置には「どのように水のTOCを測定しているか」が大きく2パターンあります。一つは「比抵抗計を利用するタイプ」で、もう一つは「TOC計を利用するタイプ」です。それぞれにメリット・デメリットがありますので知っておきましょう。
超純水装置の
TOC測定方法の種類とその違い
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超純水製造装置には消耗品がたくさん使用されていて、チェックが欠かせません。日常メンテナンスだけではなく、長期休暇前のセルフチェックも重要です。長期休暇前には、タンク内と配管内に水が残っていないことをチェックしましょう。
高感度分析が必要なPFAS分析において、超純水は欠かせません。分析用の超純水にPFASが含まれていると正確な測定結果は得られないので、 PFAS分析に特化した低ブランクの超純水を使用して、水質管理を徹底することが重要です。
高感度分析には超純水が不可欠ですが、超純水を使用する際には、いくつかの注意点があります。超純水装置自体が超純水の汚染源となる可能性があるので、適切なフィルター、直接採水ができる超純水装置を選ぶことが大切です。
高精度な分析をおこなうためには、純度の高い水が必要ですが、超純水製造装置により水質に問題が発生することがあります。ここでは、装置そのものが汚染源になる可能性など、装置にまつわる問題点についてまとめています。
ここでは編集チームが独自に調査した会社から、メルク社のMilli-Qに匹敵する優れた性能の超純水製造装置を扱うメーカーを、特におすすめできる機種とともにご紹介しています。
気になる機器が見つかったら、リンクボタンから直接問い合わせるか、出入りする理化学販売店の営業担当にご相談してみてください。


選定条件:Google検索「超純水製造装置」で検索した結果から、ラボ向けの超純水製造装置を自社開発している、もしくは海外メーカーの公認輸入代理店であることが公式サイトに記載されている全8社を調査(2024年5月17日調査時点)
・アドバンテック東洋(RFU)の選定理由:8社の内、全国に網羅している営業所・サポートセンター・特約店の数が調査時最多で、施工や工事を請け負うグループ会社を有している(2024年5月17日調査時点)
・オルガノ(ピューリック)の選定理由:8社の内、公式サイトに掲載されたラインナップの超純水精製水量の幅がもっとも広い(2024年5月17日調査時点)